芯链抛光中心设备一如工作圆满完成

（一）先筑基：光罩保护膜与基板，已站稳国产化“第一梯队”

  作为光刻工艺的“底片”，光罩及其保护膜长期被国外少数厂商垄断。在芯链的努力下：光罩基板：已实现高平整度、低缺陷密度的国产化量产，关键指标对标国际主流水平；光罩保护膜：已实现稳定量产并批量供货，能够显著延长光罩使用寿命、有效降低光刻缺陷风险。这两项成果的落地，已为国内光罩厂提供了可替代进口的“安全料”、“放心膜”，初步打破了光罩环节的“卡脖子”困局。

（二）再突破：抛光机台移入，填补高平整度石英基板空白

  如果说光罩是光刻的“眼睛”，那么抛光就是光罩基板制造的“整容师”。今日移入的抛光机台，具有以下亮点：工艺制程能力表面粗糙度（Ra）＜0.2nm，平坦度≤1T(1μm)/0.5T（0.5μm）/0.3T（0.3μm），实现BIM（二维光罩基板）、PSM（相位移光罩基板）的石英基板原材料自主可控，领先国内技术水平。

（三）谋全局：材料+设备双轮驱动，构建自主可控生态

  此次抛光机台的移入，并非孤立的设备引进，而是企业“实现原料国产化”战略的自然延伸：该产线全部达产后，将形成“材料不依赖进口、工艺可自主优化”的闭环能力，为国内光罩产业链提供真正意义上的“交钥匙”国产化方案。

二、总经理李佳珍：以务实精神铸就品质承诺

三、展望未来：国产化不是口号，而是一步步搬进产线

  “过去我们常说国产替代，但替代不是买一台设备、做一款材料就结束。公司总经理李佳珍强调：“国产化的最终检验标准，是在量产线上跑出良率、跑出效率、跑出成本优势。”