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产品与服务

国内领先的半导体光罩材料供应商,致力于高端半导体材料的国产化替代

产品中心BLANKPELLICLE

BLANK 系列

空⽩掩膜版(别名 Blank Mask),作为掩膜版的核⼼基础材料,是半导体与显⽰⾏业光刻制程中图案转移的关键载体 —— 表⾯制作特定图案后,可直接通过光刻机将电路或器件图形精准转移⾄晶圆、衬底等基材。本产品核⼼由⾼洁净度⽯英基板(具备⾼平整度、⾼平滑度、低缺陷密度特性)、低反射率 Cr 膜(或可定制OMOG 替代材料)及光刻㬵层构成,通过直流磁控溅射、双⾯研磨抛光、精密涂㬵及全流程清洗检验等完整⼯艺制成,确保刻蚀均匀性、重复性与⾼良率产出。

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BIM-IP
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本产品 BIM-IP 为低阶系列

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BIM-FEP
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本产品 BIM 为⾼阶系列

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PSM-KrF
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本产品 PSM-KrF 核⼼由⾼透过率⽯英基板

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PSM-ArF
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本产品 PSM-ArF 核⼼由超⾼纯合成⽯英基板

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