国内领先的半导体光罩材料供应商,致力于高端半导体材料的国产化替代
由高纯度石英玻璃为基材,表面沉积铬(Cr)、钼硅(MoSi)等遮光/相移金属层,并涂覆光阻(光刻胶)的超精密空白光罩(光掩模板)。其后可透过精密的描绘设备及化学显影,蚀刻,将设计图案转印至基板。使用光刻设备或曝光机可使这个“光学模具”进行重复的转印。
对不同波长的光保持高透明度,阻挡颗粒物落在掩模版的电路图形上,避免因此导致的芯片缺陷,确保曝光图形能精确转移到晶圆上,从而大幅提高光刻工艺的良率。
半导体材料加工针对半导体制品的表面加工工艺,实现半导体制品表面的超平整、低粗糙度、无损伤处理,满足半导体行业对产品表面的极致工艺要求,是合成石英材料成型的关键工序。
满足成熟工艺与先进工艺光罩基板、光罩空白板、保护膜外壳,各种尺寸产品包装所需,并提供高端精致外观品质、产品运输安全之保证。
聚焦工程塑料精密注塑/成型,为半导体光罩、Pellicle 产品提供洁净、防静电、低释气的载具与保护治具。