首页
关于我们
产品中心
加入我们
新闻资讯
加载中...
浙ICP备2023031150号-2
版权所有 绍兴芯链半导体科技有限公司 Copyright © 2026 ShinLans All Rights Reserved
石英基板(4~6 inch)
半导体前道制程用的标准尺寸石英光罩基板,即半导体 Blank 用石英基板。目前主流的光罩规格为6英寸,后续将加工为BIM/PSM等不同类型的光罩。
应用范围
1、作为半导体前道制程(如 IG-line/KrF/ArF)空白光罩(Blank)的石英基材;
2、用于中小尺寸晶圆、功率器件等成熟制程的光刻应用。
制程能力
标准尺寸
平坦度(μm)
粗糙度(nm)
4 inch
-
5 inch
-
6 inch
<2.0 / <1.0 / <0.5 / <0.3
<0.2