BIM 低阶 本产品 BIM-IP 为低阶系列,核⼼由⾼洁净度⽯英 基板(具备⾼平整度、⾼平滑度、低缺陷密度特 性)、低反射率 Cr 膜及光刻㬵层构成,经由清 洗、溅镀、涂布及全流程检验等完整⼯艺制成, 确保刻蚀均匀性、重复性与⾼良率产出。
可覆盖 365nm的⼯艺所需,以便下游客⼾使⽤。