PSM-KrF 本产品 PSM-KrF 核⼼由⾼透过率⽯英基板（具备 低应⼒双折射、⾼平⾯度、低表⾯粗糙度特 性）、⾼选择性 MoSi 膜及光刻㬵层构成，经由清 洗、溅镀、涂布及全流程检验等完整⼯艺制成， 确保⾼品质与⾼良率产出。
可覆盖 248nm 的 KrF ⼯艺所需，以便下游客⼾使⽤。
