以运输贮存为主要目的,用于Pellicle产品从供应方至接收方全链路的精密载具,采用低释气、防静电、高洁净材料制造,保障洁净运输的同时也兼顾产线转运。
| Type | Specifications | |||
| Material | PET-G | |||
| Dimension(mm) | 5’’ | 190×190 | ||
6’’ | 210×210 | |||
7’’ | 230×230 | |||
| 外观 | ①无色差 ②表面平整,光洁,透明度一致 ③无皲裂、边缘变形 ④无明显划痕、擦痕 ⑤无凹凸点、气泡 ⑥无脏污、水印 ⑦无毛边、飞边、余料 | |||
| Inch | Frame Dimension | |||
| 5" | 109*86*4.6 | |||
98*94*3.6 | ||||
110*107*3.75 | ||||
97.5*97.5*5.8 | ||||
120*98*3.7 | ||||
| 6" | Φ131*3.15 | |||
147*120*4.6 | ||||
147*109*4.6 | ||||
149*113*4.6 | ||||
149*118*5.8 | ||||
149*122*5.8 | ||||
149*122*4.6 | ||||
| 7’’ | 160*160*5.8 | |||
| … | 持续增加中 | |||