PSM-ArF | BLANK系列

本产品 PSM-ArF核⼼由超⾼纯合成⽯英基板（具备极低 OH 含量、超低应⼒双折射、纳⽶级平整度特性）、⾼精度MoSi 膜（或可定制OMOG 替代材料）及光刻㬵层构成，经由清洗、溅镀、涂布及全流程检验等完整⼯艺制程，确保⾼分辨率、相位均匀性与⾼可靠性产出。