BIM ⾼阶 本产品 BIM 为⾼阶系列，核⼼由⾼洁净度⽯英基 板（具备⾼化学惰性、⾼光滑度、极低杂质析出 特性）、光刻㬵层构成，经由清洗、溅镀、涂布 及全流程颗粒检测等完整⼯艺制成，确保图形转 移精准度、尺⼨稳定性与⾼洁净度产出。
可覆盖 248nm 的⼯艺所需，相较于 BIM-I可以做到更优良的图像分辨率，以便下游客⼾使⽤。
